一、產品概述
 

　　Alicat艾里卡特耐腐蝕系列氣體質量流量計是專為精確、快速測量腐蝕性氣體(如NH?、H?S、CL?、SO?、SiH?等)的質量流量、體積流量、壓力和溫度而設計的。該系列流量計采用先進的層流壓差技術，結合內部補償機制，確保在大流量范圍內氣體保持層流運動，從而提供準確可靠的測量結果。
 

　　二、核心性能參數
 

　　量程范圍：定制范圍從0.5 SCCM到10,000 SLPM(氫氣可達10,000 SLPM)，滿足不同場景的流量測量需求。
 

　　測量精度：標準精度為讀數的±0.8%和滿量程的±0.2%，可選高精度模式達到讀數的±0.4%和滿量程的±0.2%。
 

　　重復性：±0.2%滿量程，確保測量結果的穩定性。
 

　　響應時間：<10毫秒，快速響應流量變化。
 

　　工作溫度：-10°C至+60°C(可選高溫選項，氣體溫度可達100°C，環境溫度85°C)。
 

　　工作壓力：160 PSIA(11 barA)，耐壓200 PSIA(靜壓)，75 PSID(進出口差壓)。
 

　　三、功能特點
 

　　多參數測量：同時測量體積流量、質量流量、氣體壓力和氣體溫度，提供全面的氣體狀態信息。
 

　　氣體校準：內置98多種預加載的NIST可溯源氣體校準，支持自定義和存儲多達5種成分氣體的20種自定義氣體混合物，滿足復雜氣體測量需求。
 

　　顯示與操作：使用集成觸摸板從背光顯示屏和控制配置中讀取測量值，操作簡便直觀。
 

　　通信接口：支持模擬、RS-232、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus等多種通信協議，方便與數字工業或實驗室網絡整合。
 

　　過程連接：提供NPT、SAE、AN、BSPP/G、壓縮、VCR、VCO等多種過程連接方式，適應不同管道系統需求。
 

　　接液材質：采用316L不銹鋼和FFKM密封材質(可根據特殊氣體選用FKM或EPDM)，確保耐腐蝕性能。
 

　　四、應用場景
 

　　Alicat艾里卡特耐腐蝕系列氣體質量流量計廣泛應用于大學/研究所、汽車制造、環境監測、計量校準、真空行業及鍍膜、過程工藝氣體測量、工業爐窯等領域。其高精度、快速響應和耐腐蝕性能使其成為腐蝕性氣體測量和控制領域的理想選擇。
 

　　五、定制化服務
 

　　Alicat艾里卡特提供定制化服務，可根據用戶的具體應用需求定制閥門和PID調節功能，確保產品能快速實現穩定控制。同時，用戶還可以利用COMPOSER™氣體編輯器自定義氣體組成，滿足特殊氣體測量需求。