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產品中心PRECESS普瑞賽思普瑞賽思真空閥門V24系列PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制真空閘閥
產品簡介
PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制真空閘閥（V24系列）用于SEMI生產系統中的上游清潔進氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。
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產品分類| 品牌 | 域勢科技 | 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣 |
|---|
PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制真空閘閥（V24系列）
普瑞賽思是高性能真空閥門等產品的開發(fā)者，其產品廣泛應用于半導體、光伏 FPD、科研、工業(yè)與醫(yī)療等領域。本公司能提供完整的真空閥門解決方案，包括控壓擺閥、控壓蝶閥、傳輸閥、ATM door、插板閥、快關插板閥與角閥等，還可為客戶提供非標定制服務，涵蓋加熱、水冷、特殊涂層表面處理與密封方式、密封材料等方面。
遠程等離子控制真空閘閥在真空環(huán)境下具備良好的密封性，以確保系統的真空度；可通過遠程控制實現對閥門的精確操作，方便在等離子處理等工藝中進行自動化控制；采用適合等離子環(huán)境的材料，具有較好的耐腐蝕性和抗等離子體侵蝕能力，以保證閥門在長期使用過程中的穩(wěn)定性和可靠性等。
特點
l半標準應用（半E21-94、半E24-92、半E21.1-1296]
l無顆粒，提供極其干凈的理想進氣室
l硫化門密封
l50000個使用壽命周期
l高真空閘閥
l氣動執(zhí)行器，雙作用
l智能模塊化設計，易于維護
選項
l白色硬質陽極氧化表面處理
l可定制開口尺寸
l各種O型圈【Kalrez、Chemraz等】
應用
l半導體加工
l所有CVD工藝，包括MO、PE、HDP、LP和AP
l太陽能工藝制造
l所有其他集群和內聯真空系統
PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制真空閘閥（V24系列）
技術參數
執(zhí)行器 | 氣動 | |
饋通 | O型圈軸 | |
泄漏率 | 外部 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
內部 | < 1 × 10-8 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar | |
壓差 | On the Gate in opening direction | ≤ 1.2 bar |
On the Gate in closing direction | ≤ 1.2 bar | |
At opening | ≤ 30 mbar | |
循環(huán)至first使用 | ≥50,000 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
執(zhí)行器 | ≤ 120 °C | |
材質 | 閥體 | EN AW-6061 (3.3211) |
閥門 | EN AW-6061 (3.3211) | |
閥帽 | EN AW-6061 (3.3211) | |
軸 | AISI 316L（1.4404，1.4435） | |
密封 | 真空 | FFKM(DUPRA®DU-341) |
氣動 | FFKM(DUPRA®DU-341) | |
閥門 | FFKM(DUPRA®DU-341) | |
閥帽 | FFKM(DUPRA®DU-341) | |
安裝位置 | 任意 | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 4 mm |
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