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YUSEETECH自營品牌
域勢真空計
加熱型域勢科技電容金屬薄膜真空計
產品簡介
域勢科技電容金屬薄膜真空計(加熱型)采用單側雙電極差分電容設計,暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金。
product
產品分類| 品牌 | 域勢科技 | 量程 | 0.1333至1333mbar |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 1萬-2萬 | 產地類別 | 國產 |
| 應用領域 | 電子/電池,汽車及零部件 |
域勢科技電容金屬薄膜真空計(加熱型)
加熱型電容金屬薄膜真空計采用單側雙電極差分電容設計,暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金,超高靈敏度的前端電路和*算法,保證在工作壓力下有很高的靈敏度和測量精度,響應迅速,性能穩定,抗腐蝕性強,提供從45℃至120℃多個恒溫版本,0.1Torr至1000Torr全系列滿刻度范圍,具有優秀的性能,適用于苛刻的半導體和等離子、高危材料純化等精確總壓測量與控制的理想之選。
DMG100系列壓力傳感器具有恒溫故障和設備故障繼電器輸出功能。
優點
1.恒溫型金屬薄膜差分電容絕壓傳感器
l高靈敏度
l高精度和重復性
l長期穩定性高
2.傳感器全部為堅固且耐腐蝕Inconel合金
l不依賴氣體,測量結果與氣體成分無關
l允許與腐蝕性或骯臟氣體一起使用
l真空計材料對過程無污染
3. 輸出信號豐富
l易于集成,接口豐富,滿足各種系統集成需求
l獨立的Type C 診斷、調試、配置接口
4.故障輸出功能/壓力觸發輸出功能
l通過繼電器輸出:恒溫故障和設備故障/壓力觸發信號
域勢科技電容金屬薄膜真空計(加熱型)
技術參數
指標 | 規格參數 |
滿刻度量程 | 0.1Torr,1Torr,10Torr,100Torr,1000Torr |
精度 | ≥1Torr±0.25%的讀數,<1Torr±0.50%的讀數 |
分辨率 | 0.001%FS |
建議讀數范圍 | 0.005V to 10V@FS |
建議控制壓力范圍 | 0.05V to 10V@FS |
設備內部溫度選項 | 45℃,80℃,100℃ |
預熱時間 | 2小時≥1Torr;4小時<1Torr |
環境溫度 | 15至40℃@45℃內部恒溫 |
觸發功能 | 可選,兩路單刀雙置開關,分布可以設置0.1%~100%FS任意壓力,繼電器容量0.6A@30VDC |
故障輸出功能 | 可選,通過繼電器輸出恒溫故障和設備故障 |
輸出 | 0-10VDC模擬輸出,>10K歐姆;RS422輸出(RS485可選) |
電氣連接器 | D-Sub,15腳,針型插座;M8航插,5腳,孔型插座 |
輸入電源 | ±15VDC(±5%)、24VDC(±5%)或 20~26VDC;峰值40W@100℃,35W@45℃ |
超壓限制 | 45Psia |
暴露于工藝氣體的材料 | 進樣管為316L材料,其余均為Inconel和Incoloy合金 |
傳感器響應時間 | ≥1Torr 25毫秒;<1Torr 50毫秒 |
校準方向 | 默認垂直校準,水平校準可選 |
內部體積 | 5.1ml(不包含進樣接口) |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案,公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌,結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案,旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。